晶圓切割檢察機
| 設備規格 | |
|---|---|
| 檢測內容 | 圓切割缺陷 |
| 產品尺寸 | 4~12英寸 |
| 相機規格 | 4k 5μm 8k 5μm(選配) |
| 物鏡倍率 | 1x , 5x , 10x(選配) |
| 鏡頭解析度 | 2μm (以5x物鏡為例) |
| 像素解析度 | 1μm (以5x物鏡為例) |
| 光源 | LED光源 |
| 最小檢測尺寸 | 5μm (以5x物鏡為例) |
| 基本參數 | |
| 外型尺寸 | 1550 * 1100 * 1720mm |
| 重量 | 1800 KG |
| 輸入電壓 | AC 220V 50/60Hz |
| 額定功率 | 4.5KW |
| 氣壓 | 0.5 ~ 0.7MPa |
| 通訊接口 | RJ45 |